晶圆夹持件、晶圆夹持机构及晶圆加工设备

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型公开了一种晶圆夹持件、晶圆夹持机构及晶圆加工设备，所述晶圆夹持件包括一个安装座；一个夹持臂，所述夹持臂包括一个基座和两个第一延伸臂，两个所述第一延伸臂分别安装于所述基座，所述基座安装于所述安装座；至少两个第二延伸臂，至少两个所述第二延伸臂分别安装于所述夹持臂；以及至少两个第三延伸臂，每一所述第二延伸臂分别安装一个所述第三延伸臂；其中所述第三延伸臂的高度低于所述第二延伸臂的高度，所述第二延伸臂的高度低于所述夹持臂的高度；至少两个所述第二延伸臂和所述夹持臂围绕形成一个第一夹持空间，至少两个所述第三延伸臂和至少两个所述第二延伸臂围绕形成一个第二夹持空间。其能够适用于两种尺寸的晶圆。

基本信息

专利标题：

晶圆夹持件、晶圆夹持机构及晶圆加工设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020891175.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-25

授权号：

CN212161786U

授权日：

2020-12-15

发明人：

金浩天

申请人：

金浩天

申请人地址：

上海市浦东新区沈梅路600号环宇智能产业园A幢1层

代理机构：

上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

郭桂峰

优先权：

CN202020891175.7

主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/687 H01L21/677