一种晶圆清洗设备的夹持机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆清洗设备的夹持机构，属于夹持设备技术领域，包括工作台、晶圆夹持装置、底座板、翻转调节装置和升降装置，所述升降装置设有两个，两个所述升降装置对称设置在工作台上，所述翻转调节装置的两端固定连接在两个所述升降装置的一侧上，所述晶圆夹持装置设置在翻转调节装置上，所述底座板设置在翻转调节装置的下端且位于工作台的上方，所述底座板上设有污水流出槽，本装置能够在对晶圆夹持完成后，使得晶圆后续清洗过程中，无需将其从夹持设备上取下，通过将晶圆翻转，便可实现对晶圆的两面进行清洗作业。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆清洗设备的夹持机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123231198.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-21
授权号 ：
CN216648268U
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
陆先锋
申请人 ：
无锡颂林达科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市锡山区鹅湖镇甘西路888号德邻工业园B3-1厂房
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123231198.9
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2022-05-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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