一种硅片清洗夹持机构
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摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗夹持机构,包括底板,底板的底部设有四个支撑腿,且支撑腿的底部通过螺栓固定有车轮,还包括滑轨,所述滑轨焊接在底板的顶部,且滑轨的顶部滑动连接有滑板,所述滑板的一侧焊接有固定板,且固定板的底部通过螺栓固定有第一铰链,第一铰链的底部铰接有连接杆,连接杆的底部焊接有固定块,所述滑板的一侧通过螺栓固定有电动伸缩杆。本实用新型能够与锁链配合,带动调节板围绕第二铰链转动,从而把硅片压在夹持板的顶部,对其固定,方便清洗工作,能够缓冲冲击力,在固定的同时,防止挤压力度过大对硅片造成损坏,提高装置夹持固定的安全性,能够在手推杆的推动下带动放置板转动,方便对硅片进行更好的清洗。

基本信息
专利标题 :
一种硅片清洗夹持机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920890959.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-12
授权号 :
CN210333667U
授权日 :
2020-04-17
发明人 :
李杰朱棣于友刘世伟石坚
申请人 :
山东九思新材料科技有限责任公司
申请人地址 :
山东省济宁市泗水县泗河街道泉济路23号
代理机构 :
济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
曹媛媛
优先权 :
CN201920890959.5
主分类号 :
B08B13/00
IPC分类号 :
B08B13/00  H01L21/67  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B13/00
一般用于清洁机器或设备的附件或零件
法律状态
2020-04-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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