本申请提供了一种硅片清洗装置，包括用以进行硅片清洗的清洗槽、若干储液箱、连接所述储液箱与清洗槽的输液管，若干所述储液箱分别用以存储不同的清洗药剂，至少部分所述储液箱内设置有搅拌器，且连接不同所述储液箱的输液管相互独立设置；所述硅片清洗装置还包括设置在所述输液管上的液泵、控制阀与流量计。本申请硅片清洗装置能够对金刚线切割后的硅片进行有效清洗，提升硅片清洗制程的稳定性，降低脏污片比例，且能减少清洗药剂的浪费，实现生产精益化；还能减少现场人员工作量，降低安全隐患。