硅片清洗用石英槽
授权
摘要
本实用新型揭示了一种硅片清洗用石英槽,包括具有方形结构的外槽和内槽,所述外槽和内槽套设呈双层结构,所述内槽的槽口面低于所述外槽的槽口面,所述内槽的槽口位置为锯齿结构,用于使所述内槽中的清洗液溢流至外槽中,所述外槽和内槽之间设置有循环管路,其特征在于:所述内槽中设置有用于放置硅片的支撑架,所述支撑架与所述内槽不接触,所述支撑架由设置在所述外槽外侧的立架所支撑。本实用新型的有益效果主要体现在:减少石英槽承载力,通过立架的支撑设置使得内部石英槽几乎不受力,大大减少了内部石英槽的承载力;延长石英槽的使用寿命;辅助监测装置提高安全性,解放人力。
基本信息
专利标题 :
硅片清洗用石英槽
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921444123.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-02
授权号 :
CN210586280U
授权日 :
2020-05-22
发明人 :
高翔鹰张少阳裴文龙陈晨
申请人 :
苏州芯矽电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区江浦路41号1栋
代理机构 :
南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
陆明耀
优先权 :
CN201921444123.9
主分类号 :
B08B13/00
IPC分类号 :
B08B13/00 B08B3/08 B08B3/10 H01L21/673
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B13/00
一般用于清洁机器或设备的附件或零件
法律状态
2020-05-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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