用于承载硅片的石英舟

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摘要

本实用新型公开了一种用于承载硅片的石英舟，包括石英主架体，石英主架体包括侧围和底架，侧围由一对左右设置的侧架和一对前后设置的端板围成，该对端板竖置且相互平行，该对侧架分别设有可供硅片侧边插放的竖向插槽，且该对侧架相互配合；侧围中还设有分隔杆；上述一对端板的顶边分别设有：可供分隔杆端部插放的定位缺口；该对端板的定位缺口对称设置；分隔杆的两端卡入一对对称设置的定位缺口中。本实用新型给现有石英舟配置了可拆卸的分隔杆；当分隔杆拆下，石英舟可插放一排竖置硅片；当分隔杆装上，可分隔石英舟的内部空间，进而可插放两排竖置硅片，该两排硅片左右设置。

基本信息

专利标题：

用于承载硅片的石英舟

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921143996.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-21

授权号：

CN209929280U

授权日：

2020-01-10

发明人：

潘维孟祥熙张贺梅彭泽明

申请人：

常州时创能源科技有限公司

申请人地址：

江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921143996.6

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673 H01L31/18