可承载硅片的石英舟
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开了一种可承载硅片的石英舟,包括石英主架体,石英主架体包括侧围和底架,侧围由一对左右设置的侧架和一对前后设置的端板围成,该对端板竖置且相互平行,该对侧架分别设有可供硅片侧边插放的竖向插槽,且该对侧架相互配合;侧围中还设有支承杆;上述一对端板的内侧壁上分别设有:可供支承杆端部插放的U型托架;该对端板内侧壁上的U型托架对称设置;支承杆的两端架在一对对称设置的U型托架中。本实用新型给现有石英舟配置了可拆卸的支承杆;当支承杆拆下,石英舟可插放一排整片,整片由底架支承;当支承杆装上,可插放一排分片,分片由支承杆支承。

基本信息
专利标题 :
可承载硅片的石英舟
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921143971.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-21
授权号 :
CN209929279U
授权日 :
2020-01-10
发明人 :
彭泽明潘维王博文孟祥熙
申请人 :
常州时创能源科技有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921143971.6
主分类号 :
H01L21/673
IPC分类号 :
H01L21/673  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-04-07 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/673
变更事项 : 专利权人
变更前 : 常州时创能源科技有限公司
变更后 : 常州时创能源股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
变更后 : 213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
2020-01-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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