硅片承载用石英舟

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型公开了一种硅片承载用石英舟，包括主架体，主架体包括侧围和底架，侧围由一对左右设置的侧架和一对前后设置的端板围成，该对端板竖置且相互平行；上述一对侧架分别包括：两端分别与上述一对端板连接、且与该对端板垂直的平置顶杆，以及顶端与该顶杆底面连接、且沿该顶杆长度方向等间距依次设置的一排竖置隔板；相邻两隔板之间形成可供硅片侧边插放的竖向主插槽；顶杆位于侧围顶部；各隔板的底边与底架持平；上述一对侧架的主插槽对应配合。本实用新型的石英舟既适于承载硅片整片，又适于承载硅片分片，且能适应多种尺寸规格的分片。

基本信息

专利标题：

硅片承载用石英舟

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921143965.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-21

授权号：

CN209947812U

授权日：

2020-01-14

发明人：

彭泽明潘维王博文孟祥熙

申请人：

常州时创能源科技有限公司

申请人地址：

江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921143965.0

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673