可承载硅片的硅片花篮

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摘要

本实用新型公开了一种可承载硅片的硅片花篮，包括侧围和底架，侧围由一对左右设置的侧架和一对前后设置的端板围成；该对侧架之间还设有分隔杆，分隔杆与该对端板垂直，该对端板分别设有用于引导分隔杆端部滑动的导向槽，分隔杆的两端与该对端板上的导向槽分别可拆卸连接。分隔杆可拆卸；当分隔杆拆下，硅片花篮可插放一排竖置硅片；当分隔杆装上，可分隔硅片花篮的内部空间，进而可插放两排竖置硅片，该两排硅片可上下设置或者左右设置。为了便于调整分隔杆在硅片花篮内部空间中的安装位置，在一对端板上设置导向槽，分隔杆的两端可沿导向槽滑动，可沿左右方向和/或竖向调整分隔杆的安装位置，以适应不同尺寸的硅片。

基本信息

专利标题：

可承载硅片的硅片花篮

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921045104.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-05

授权号：

CN209859930U

授权日：

2019-12-27

发明人：

孟祥熙潘维

申请人：

常州时创能源科技有限公司

申请人地址：

江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921045104.9

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673 H01L31/18