用于检测硅片承载花篮的检具

授权

摘要

本申请提供一种用于检测承载硅片花篮的检具，属于机械制造技术领域。检具包括：两个检测单元，各个检测单元上均设有检测部，检测部用于检测硅片承载花篮上的对应的定位槽组；可调连接件，其连接两个检测单元，且通过可调节连接件能够对检测部两个检测部之间的距离进行调节。本申请提供检具以两个检测单元进行组合，使得该检具充分检测承载硅片花篮上设置的定位槽，两个检测单元之间的支撑板起到对检具结构强度上的保障；设置的可调连接件是可调的，通过在固定板上设置的条形贯通孔并结合紧固螺栓调节两个检测单元之间的距离，以适用于检测多种尺寸的承载硅片花篮；设置的调距螺栓保证其配合可调连接件共同调节两个检测单元之间的距离。

基本信息

专利标题：

用于检测硅片承载花篮的检具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922146165.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-04

授权号：

CN211291407U

授权日：

2020-08-18

发明人：

陈林

申请人：

楚雄隆基硅材料有限公司

申请人地址：

云南省楚雄彝族自治州禄丰县金山镇官洼

代理机构：

北京工信联合知识产权代理有限公司

代理人：

白晓晰

优先权：

CN201922146165.0

主分类号：

G01B21/22

IPC分类号：

G01B21/22 G01B21/24