硅片花篮检测装置

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型实施例提供了一种硅片花篮检测装置。该硅片花篮检测装置用于检测待检测硅片花篮的尺寸，该硅片花篮检测装置包括至少两组检测组件、至少两组调节块和至少两组支撑杆；至少两组支撑杆沿待检测硅片花篮的第一方向设置，至少两组检测组件与至少两组支撑杆活动连接，调节块设置在检测组件中，用于调整检测组件相对的两个侧边之间的距离，以检测待检测硅片花篮的第一方向的尺寸，两个侧边上均设置有齿纹，齿纹用于检测待检测硅片花篮上的挡齿。在本实用新型实施例中，对于第一方向的不同尺寸的待检测硅片花篮，均可以通过本实用新型实施例提供的硅片花篮检测装置进行检测，降低了对待检测硅片花篮进行检测时的检测成本。

基本信息

专利标题：

硅片花篮检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020517646.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-09

授权号：

CN212431959U

授权日：

2021-01-29

发明人：

谢陈栋陆敏星李斌全

申请人：

无锡隆基硅材料有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区锡梅路102号

代理机构：

北京润泽恒知识产权代理有限公司

代理人：

莎日娜

优先权：

CN202020517646.8

主分类号：

G01B5/00

IPC分类号：

G01B5/00 G01B5/02 G01B5/06 H01L21/66