硅片清洗花篮齿杆
授权
摘要
本实用新型提供一种硅片清洗花篮齿杆，包括齿杆主体及均匀间隔分布在所述齿杆主体上的第一齿柱和第二齿柱；所述第一齿柱与所述第二齿柱在所述齿杆主体轴向投影构成半椭圆形或抛物线；所述齿杆主体两端设有连接部，用于连接所述齿杆主体与硅片清洗花篮。硅片插入齿柱间隔区域，被齿柱分离开，在清洗的时候可以避免贴合在一起而损坏，而且相邻的两个齿柱呈错开布置，可以使硅片的支撑点增多一倍，更加难以贴合在一起；椭圆形齿柱，两边为弧形过渡，能够有效减少齿柱在硅片上留下的印痕，提高硅片的成品率。
基本信息
专利标题 ：
硅片清洗花篮齿杆
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921598547.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-24
授权号 ：
CN210467791U
授权日 ：
2020-05-05
发明人 ：
戴国健
申请人 ：
常州市杰洋精密机械有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区黄河西路226号
代理机构 ：
常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张云
优先权 ：
CN201921598547.0
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-05-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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