一种用于硅片清洗的大花篮
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于硅片清洗的大花篮，包括清洗筒，所述清洗筒为筛状，所述清洗筒的内部设置有两个连接板，两个所述连接板的位置呈上下分布，两个所述连接板的侧壁均与清洗筒的内侧壁转动连接，两个所述连接板之间设置有多个连接杆，多个所述连接杆呈环形阵列分布，多个所述连接杆的两端分别与两个连接板的底部和顶部固定连接，多个所述连接杆的外表面均开设有多个放硅卡口。本实用新型中，在搅动杆的驱动作用下，两个连接板会做往返的旋转运动，即旋转的方向会改变，进而加大清洗液的搅动效果，提高硅片与清洗液的相对位移，提高清洗效率，即该装置能够在没有相应的清洗设备的情况下高效的完成相应的清洗操作。
基本信息
专利标题 ：
一种用于硅片清洗的大花篮
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922302243.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-20
授权号 ：
CN210866138U
授权日 ：
2020-06-26
发明人 ：
王铁
申请人 ：
苏州德克斯特新材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区木渎镇木胥西路27号3号厂房
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922302243.1
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L21/67 H01L31/18
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-06-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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