一种用于硅片清洗的花篮晃动装置
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摘要

本发明公开了一种用于硅片清洗的花篮晃动装置,包括外壳,所述外壳的内部底面固定安装有电机,且电机的输出端卡接安装有转动轴。有益效果:本发明通过全角度晃动板,当电机开始工作时,带动转动轴、支撑杆和套板做同步运动,旋转的套板使两组拉绳发生形变,当套板接触两组限位板时,会扯动全角度晃动板旋转,旋转的全角度晃动板会使两组抵触头发生碰撞,全角度晃动板纵向晃动,此时四组伸缩弹簧会发生形变,四组伸缩弹簧带动全角度晃动板进行复位,当两组抵触头再次发生碰撞,使全角度晃动板继续纵向旋转晃动,重复旋转使用时,全角度晃动板始终带动花篮晃动,通过设置的全角度晃动板,可配合使用一组电机,完成花篮的全角度晃动。

基本信息
专利标题 :
一种用于硅片清洗的花篮晃动装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112427392A
申请号 :
CN202011443136.1
公开(公告)日 :
2021-03-02
申请日 :
2020-12-08
授权号 :
CN112427392B
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
许玉雷
申请人 :
江西舜源电子科技有限公司
申请人地址 :
江西省萍乡市安源区安源工业园人工智能产业园12栋
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202011443136.1
主分类号 :
B08B3/10
IPC分类号 :
B08B3/10  B08B3/08  B08B13/00  H01L21/673  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的,如用加热,电力,振动
法律状态
2022-04-08 :
授权
2021-03-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 3/10
申请日 : 20201208
2021-03-02 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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