一种硅片清洗花篮

授权

摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗花篮，涉及硅片生产技术领域，包括花篮本体，所述花篮本体内壁的两侧均开设有连接槽，所述连接槽内部均放置有固定块，所述固定块远离连接槽的一端均固定连接有固定台，所述花篮本体靠近固定块的一侧均开设有解锁槽，本实用新型的有益效果为：该硅片清洗花篮，通过设置有永磁铁、电磁铁以及夹板，当需要固定硅片时，操作人员将硅片放置在凹槽上，操作人员通过外设控制设备启动电磁铁，电磁铁与永磁铁之间产生相吸的磁场，永磁铁带动夹板向硅片方向移动，直到将硅片固定住，本花篮能够适应不同直径硅片的固定清洗需要，本花篮的适用性较广。

基本信息

专利标题：

一种硅片清洗花篮

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021430217.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-20

授权号：

CN212625518U

授权日：

2021-02-26

发明人：

高培成

申请人：

山东民峰智能科技有限公司

申请人地址：

山东省济南市明水经济开发区轻骑路东侧(济南民峰塑料公司)3#车间

代理机构：

济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙)

代理人：

曹玉琳

优先权：

CN202021430217.3

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673