本实用新型涉及一种硅片花篮清洗装置，包括输送平台，输送平台上设置有传送皮带，传送皮带上放置有花篮；刷洗组件，其位于输送平台的上方，刷洗组件包括第一驱动源、安装板和清洗刷；清洗刷设置在所述安装板的底部，清洗刷与花篮的内部相配合，第一驱动源驱动安装板升降实现清洗刷对花篮内部上下刷洗；所述安装板的底部增设有滑轨，滑轨垂直于传送皮带的传输方向设置，所述清洗刷滑动设置在所述滑轨上；第一驱动源驱动所述清洗刷在滑轨上往复运动；冲洗组件，其设置在刷洗组件上，所述冲洗组件包括第一喷淋管，实现喷射水流至花篮内。其能够对花篮的内部进行上下左右全方位刷洗，边刷洗边喷淋，刷洗干净，降低人工成本，提高花篮的清洗效果。