硅片花篮
授权
摘要
本实用新型提供了一种硅片花篮，包括两个端板和固定在两个端板之间的若干齿杆，所述齿杆上具有至少一列尖齿排，该列尖齿排具有若干尖齿本体，其中硅片适于卡设在两个所述尖齿本体之间且该硅片的端面与其接触的所述尖齿本体之间有且仅有一个接触点。此种硅片花篮，通过端板配合齿杆，实现对于硅片的架设，而通过两列尖齿排，实现硅片的定位固定，并通过两个尖齿本体实现相隔定位，此时尖齿本体与硅片之间有且仅有一个接触点，从而很好的保护硅片的表面，使其可变形的区间在一个点而不是一条线或者一个面。
基本信息
专利标题 ：
硅片花篮
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020234556.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-28
授权号 ：
CN211182170U
授权日 ：
2020-08-04
发明人 ：
沈杰
申请人 ：
常州科讯精密机械有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区罗溪镇黄河西路718号
代理机构 ：
常州市科谊专利代理事务所
代理人 ：
钮云涛
优先权 ：
CN202020234556.8
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L31/18
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-08-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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