一种宽度可调的硅片清洗花篮
授权
摘要
本实用新型公布了一种宽度可调的硅片清洗花篮，其特征在于：包括两片分别设置在清洗花篮两侧的导向板(1)和连接两个导向板(1)的定位销杆(2)，定位销杆(2)插到导向板两侧定位孔(4)上，通过螺母(5)固定，更换方便。一套导向板(1)可配备多套不同长度的定位销杆(2)，适用于清洗不同尺寸的硅片，节约成本。本实用新型的导向板(1)和定位销杆(2)的材质均采用聚四氟乙烯，既耐磨又容易清洗。
基本信息
专利标题 ：
一种宽度可调的硅片清洗花篮
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921286032.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-09
授权号 ：
CN211637656U
授权日 ：
2020-10-09
发明人 ：
郭新勇董宝杰王萍
申请人 ：
河南中镜科仪科技有限公司
申请人地址 ：
河南省开封市河南自贸试验区开封片区郑开大道296号自贸大厦A座702室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921286032.7
主分类号 ：
B08B13/00
IPC分类号 ：
B08B13/00 B25B11/00 H01L21/673
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B13/00
一般用于清洁机器或设备的附件或零件
法律状态
2020-10-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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