硅片花篮输送翻转装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种硅片花篮输送装置，尤其是硅片花篮输送翻转装置，包括输送带，还包括花篮翻转装置，所述花篮翻转装置安装在输送带的一端，所述花篮翻转装置包括翻转架，所述翻转架转动安装在输送带的一端；翻转夹紧装置，所述翻转夹紧装置安装翻转架上，所述翻转夹紧装置用于将硅片花篮夹紧在翻转架上；翻转驱动装置，所述翻转驱动装置与翻转架连接，所述翻转驱动装置用于驱动翻转架翻转。本实用新型提供的硅片花篮输送翻转装置结构简单、翻转方便、翻转时间短、翻转效率高。
基本信息
专利标题 ：
硅片花篮输送翻转装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920914007.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-18
授权号 ：
CN209981188U
授权日 ：
2020-01-21
发明人 ：
顾韻
申请人 ：
无锡市南亚科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市滨湖区立业路2号
代理机构 ：
合肥方舟知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
宋萍
优先权 ：
CN201920914007.2
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-01-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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