本实用新型提出了一种硅片翻转输送装置，包括底座，所述底座上设有两组支撑架，所述支撑架上设有传输机构，所述传输机构包括安装于所述支撑架两端的传动滚轮，所述传动滚轮上饶有输送带，所述支撑架两侧设有翻转机构，所述翻转机构包括翻转圆盘，所述翻转圆盘上均匀设置有至少两个卡槽，所述卡槽内设有毛毡层；所述支撑架两侧设有用于防止硅片偏移的辅助限位机构，本装置将翻转圆盘设的卡槽内设置毛毡层防止硅片划损，同时在圆盘的圆周上设有硅胶层，防止硅片未对准卡槽时，撞击到翻转圆盘时受到冲击，降低破损风险，同时设置的限位机构能够有效防止硅片从翻转圆盘上滑出时，由于受力不均导致歪斜的问题。