本实用新型涉及机械设备制造技术领域，且公开了一种硅片喷砂机用硅片输送装置，包括输送架，所述输送架的底部固定连接有数量为多个的支撑脚，所述输送架的内侧活动连接有数量为多个的辊轴，所述辊轴的外表面活动连接有输送带，所述输送架顶部的正面与背面均固定连接有轨道，所述轨道外表面的中段滑动连接有滑块，所述滑块的顶部固定连接有喷砂机本体，所述轨道顶部的左右两端均开设有固定孔，所述固定孔的底部固定连接有弹簧。该硅片喷砂机用硅片输送装置，通过设置防护绳带，有效的避免了硅片在输送的过程中出现碰撞损坏的情况，避免了不必要的损失，无需通过夹具对硅片进行夹持，即可实现对硅片的输送，方便使用，适用于各种情况。