一种硅片翻转装置及硅片翻转输送系统

授权

摘要

本实用新型公开了一种硅片翻转装置及硅片翻转输送系统，属于太阳能硅片生产领域。本实用新型的一种硅片翻转装置，包括沿第一方向设置的第一缓冲轨道、翻转机构和第二换从轨道，所述翻转机构位于所述第一缓冲轨道和第二缓冲轨道之间；因而可以通过对花篮进行翻转的方式，实现多个硅片的批量翻转，且缓冲轨道的设置可以允许翻转机构以较慢的速度对花篮进行翻转而不影响其他轨道上硅片的运输，从而在提高硅片翻转输送的效率的同时，提高硅片在翻转过程中的安全性。

基本信息

专利标题：

一种硅片翻转装置及硅片翻转输送系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022125287.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-24

授权号：

CN213093216U

授权日：

2021-04-30

发明人：

张天陈友好田军

申请人：

苏州迈为科技股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市吴江区芦荡路228号

代理机构：

江苏瑞途律师事务所

代理人：

韦超峰

优先权：

CN202022125287.4

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18 H01L21/677