本实用新型公开了一种硅片的柔性输送系统，包括支撑架，支撑架的底部的四角处均设有支撑杆，支撑架的左、右两侧的内壁上均设有侧固定块，侧固定块上设有若干个等距排列的侧滚轮，左、右两侧的侧滚轮之间设有硅片箱，支撑架的底部的内壁上设有主固定块，主固定块上设有若干个等距排列的滚轮，支撑架的左侧均设有若干个与滚轮一一对应的齿轮，最前部的齿轮上设有把手，本装置通过把手转动实现硅片箱移动，在输送硅片过程中，不直接接触硅片，避免了人为损坏硅片的因素，运输时通过滚轮和两个侧滚轮实现移动，减少摩擦，使得硅片箱的移动更加平稳，导轨承载能力增大，该输送方式为无油设计，提高了操作人员的工作环境。