硅片承载器底托杆
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摘要

硅片承载器底托杆,它涉及硅片生产设备技术领域;它包含托杆本体、分隔齿、右端板、左端板、右螺杆、右螺母、左螺杆、左螺母和橡胶圈;所述的托杆本体上并列固定有若干分隔齿,托杆本体的两端分别固定有右端板和左端板,右端板和左端板的外侧分别固定有右螺杆和左螺杆,右螺杆和左螺杆上分别旋接有右螺母和左螺母;所述的橡胶圈位于托杆本体上分隔齿两侧的根部位置,且橡胶圈的两端分别套设固定在右螺杆和左螺杆上;所述的右端板和左端板上分别设置有凹槽,橡胶圈镶嵌在凹槽内。本实用新型所述的硅片承载器底托杆,橡胶圈使用寿命长,更换橡胶圈快速、方便,不影响生产进度,本实用新型具有结构简单、设置合理、制作成本低等优点。

基本信息
专利标题 :
硅片承载器底托杆
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022195222.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-30
授权号 :
CN213332165U
授权日 :
2021-06-01
发明人 :
张献
申请人 :
张献
申请人地址 :
江苏省苏州市张家港市杨舍镇李巷村刘市第二十组37号
代理机构 :
北京汇信合知识产权代理有限公司
代理人 :
陈红
优先权 :
CN202022195222.7
主分类号 :
F16F1/371
IPC分类号 :
F16F1/371  H01L21/673  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16F
弹簧;减震器;减振装置
F16F
弹簧;减震器;减振装置
F16F1/00
弹簧
F16F1/36
由塑性材料制造的,例如橡胶;由高内摩擦材料制造的
F16F1/371
以插入或辅助延伸件为特征的,如用于固定
法律状态
2021-06-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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