硅片清洗装置

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摘要

本实用新型提供了一种硅片清洗装置，包括清洗槽组件及承载硅片的花篮，所述清洗槽组件包括容纳所述花篮的槽体，所述硅片清洗装置还包括供气组件，所述供气组件包括马达及连接至所述槽体内的供气管。与现有技术相比，本实用新型通过在密闭的槽体里面通入气体以形成高压环境，可抑制硅片清洗时气泡的上浮，从而避免花篮随硅片上浮，通过这种方式可改善“飘篮”的问题，改善硅片清洗不彻底的问题。

基本信息

专利标题：

硅片清洗装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922309954.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-20

授权号：

CN212069846U

授权日：

2020-12-04

发明人：

蒋天琪程雪原杨雪梅周彬郑旭然王栩生

申请人：

苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市高新区鹿山路199号

代理机构：

北京博思佳知识产权代理有限公司

代理人：

张相钦

优先权：

CN201922309954.1

主分类号：

B08B11/00

IPC分类号：

B08B11/00 B08B3/08 B08B13/00 H01L21/67