本实用新型提出一种用于硅片批量清洗的清洗装置，包括：浸泡池，与浸泡池连通有进液管及排液管，进液管及排液管上分别连接有感应开关，浸泡池上方设置有输送口，输送口上连接有用于打开或关闭输送口的感应门A；升降机构，位于浸泡池内、输送口的下方，升降机构顶部连接有托板；清洗框，放置在托板上用于盛放硅片；干燥池，位于浸泡池上方与输送口连通，与干燥池连通有可向干燥池内通入干燥气体的气管，气管上连接有控制开关，干燥池的顶部与输送口相对应的位置设置有输出口，输出口上连接有用于打开或关闭输出口的感应门B。本实用新型可一次清洗多片硅片，能够节约成本、提高清洗效率，且能够提高硅片洁净度，缩短干燥时间。