一种硅片快速批量化烘干装置
授权
摘要
本实用新型涉及硅片生产领域的一种硅片快速批量化烘干装置，包括安装在地面上的支架，支架与地面之间设置有缓冲减震组件，支架上配合设置有输送组件，输送组件配合设置有进口和出口；输送组件的中部位置安装有烘干箱体组件，输送组件贯穿烘干箱体组件设置；烘干箱体组件的底部配合安装有抽吸设备，烘干箱体组件内交错设置有烘干管路，烘干管路直接对着输送组件设置；烘干箱体组件上开设有若干门体；本实用新型结构简单，能够实现对硅片进行快速批量化的烘干的起到较好的杂志过滤抽吸作用，提高生产的工作效率，也降低成本，减少了工作强度，避免二次返工。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片快速批量化烘干装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020412922.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-27
授权号 ：
CN211903649U
授权日 ：
2020-11-10
发明人 ：
徐爱阳
申请人 ：
扬州荣兴达光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市江都区郭村镇工业园区
代理机构 ：
南京德铭知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
奚鎏
优先权 ：
CN202020412922.4
主分类号 ：
F26B15/12
IPC分类号 ：
F26B15/12 F26B25/00 F26B25/12 F26B25/10 F26B21/00 H01L21/67
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B15/00
对具有渐进运动的制品进行干燥的机器或设备；对密集批料进行干燥的具有渐进运动的机器或设备
F26B15/10
以一条或多条直线形成的路线移动的，例如复合路线
F26B15/12
路线均为水平或略有倾斜的
法律状态
2020-11-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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