一种硅片烘干装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片烘干装置，包括箱体，箱体底面四个拐角均固定连接有万向轮，箱体内部通过多孔隔板分为下方的储水室和上方的处理室，利用过滤网、干燥层和活性炭过滤层，通过三组过滤网可以对清洗后的清洗剂进行过滤回收，干燥层可以提高烘干效果，同时活性炭过滤层可以对烘干产生的气体进行吸附过滤，去除有害物质，保障操作人员身体健康；利用集水仓和水泵，可以通过PLC控制器打开水泵把储水室内的清洗剂通过输水管导入处理室，进行清洗；清洗结束后，可打开止回阀把清洗剂从排水管导入储水室进行回收，同时通过PLC控制器打开电加热管对硅片进行烘干处理，清洗与烘干一体化，效率大大提高。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片烘干装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920747003.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-22
授权号 ：
CN210010254U
授权日 ：
2020-02-04
发明人 ：
梁会宁杨定勇黄辉朱庆龙宋江
申请人 ：
扬州晶樱光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市高邮市经济开发区凌波路86号
代理机构 ：
南京常青藤知识产权代理有限公司
代理人 ：
龚建良
优先权 ：
CN201920747003.X
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B3/14 F26B23/06 F26B25/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-02-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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