一种硅片烘干装置

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型公开了一种硅片烘干装置，其包括下滚轮、上滚轮和干燥组件。下滚轮为多个，多个下滚轮沿水平方向依次排布，下滚轮被配置为运输硅片，上滚轮为多个，多个上滚轮沿水平方向依次排布，上滚轮位于下滚轮上方，上滚轮的周面止抵在硅片上，干燥组件包括上出风条和下出风条，上出风条上设有上出风孔，下出风条上设有下出风孔，上出风条与下出风条正对设置，上出风条夹设在两个上滚轮之间，下出风条夹设在两个下滚轮之间。该硅片烘干装置能够较为均匀地去除硅片上的水分，避免了硅片上残留水分，保证了后续检测结果的精确性，此外还能较好避免硅片碎片的现象发生。

基本信息

专利标题：

一种硅片烘干装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921911146.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-07

授权号：

CN210801919U

授权日：

2020-06-19

发明人：

易书令马晓林潘岳林姜大俊潘励刚郑旭然

申请人：

盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司

申请人地址：

江苏省盐城市盐城经济技术开发区漓江路66号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

胡彬

优先权：

CN201921911146.6

主分类号：

F26B15/12

IPC分类号：

F26B15/12 F26B21/00 F26B25/00