本实用新型属于太阳能电池生产技术领域，公开了一种硅片烘干装置，包括：槽体，所述槽体具有开口朝上的容腔，所述容腔用于容置承放待烘干硅片的花篮，所述槽体的底部设置有出风部，所述出风部与所述容腔连通；风管，围设于所述容腔的开口处，所述风管具有朝向所述容腔内部开设的风孔，所述风管能通过所述风孔向所述容腔内提供热风；盖板，与所述槽体活动连接，所述盖板能覆盖所述容腔；排风机构，所述排风机构与所述出风部连通，以在其工作时使所述容腔内形成负压。本实用新型提供的硅片烘干装置，风管吹出的热风整体向下流动并由槽体底部设置的出风部排出，能够有助于吹扫挂附于硅片表面的水滴，从而得以快速地烘干硅片。