一种硅片烘干装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片烘干装置，包括：花篮、连接板和烘干槽，花篮包括前支撑板、后右支撑板和多个固定杆，多个固定杆固定在前支撑板和后支撑板之间，多个固定杆用于固定硅片；连接板的底面上固定有连接支架，花篮连接在连接支架上；烘干槽用于对硅片进行烘干，烘干槽的一侧固定有支撑装置，支撑装置上转动连接有转动杆，转动杆的外周上固定有吸水滚轮，吸水滚轮顶面的高度比花篮中水平高度最低的若干个固定杆高0.1‑2.5mm；吸水滚轮一方面对水平高度最低的两个固定杆进行吸水；另一方面由于两者的接触作用，使水平高度最低的两个固定杆上的水分布均匀，两方面共同作用减少了后续烘干的时间。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片烘干装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920959492.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-25
授权号 ：
CN210425793U
授权日 ：
2020-04-28
发明人 ：
陆春阳樊选胜宛正缪云展曹磊
申请人 ：
阜宁苏民绿色能源科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省盐城市阜宁县经济开发区香港路888号
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
董建林
优先权 ：
CN201920959492.5
主分类号 ：
F26B5/16
IPC分类号 ：
F26B5/16 F26B15/14 H01L31/18
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B5/00
不需要使用加热方法干燥固体材料或制品
F26B5/16
同吸收体接触，例如接触吸收模；用混入吸收剂的方法
法律状态
2020-04-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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