一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置,包括一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置,装置本体包括烘干机台,烘干机台上设有用于对硅片进行传输的传输组件,烘干机台上设有用于对硅片表面进行烘干的烘干箱,烘干箱内部设有用于对硅片表面水分进行吸附的吸水组件,烘干箱内部靠近吸水组件的位置设有用于对硅片进行烘干的烘干组件,传输组件能够对水洗后的硅片进行传输,硅片载板能够对硅片进行支撑,烘干箱能够对硅片进行烘干,吸水组件能够对硅片表面的水汽进行吸干,烘干组件能够对硅片表面同时进行烘干,旨在对硅片表面进行多次干燥,保证硅片的快速干燥,提高了硅片的干燥效率,节约了成本。
基本信息
专利标题 :
一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122708486.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-08
授权号 :
CN216347393U
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
常康杰张奇王雪
申请人 :
江苏中宇光伏科技有限公司
申请人地址 :
江苏省徐州市沛县经济开发区昆明路南侧
代理机构 :
无锡三谷高智知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
陈勤
优先权 :
CN202122708486.2
主分类号 :
F26B5/16
IPC分类号 :
F26B5/16 F26B15/18 F26B21/00 F26B25/00 F26B25/02
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B5/00
不需要使用加热方法干燥固体材料或制品
F26B5/16
同吸收体接触,例如接触吸收模;用混入吸收剂的方法
法律状态
2022-04-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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