本实用新型公开了一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置，包括一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置，装置本体包括烘干机台，烘干机台上设有用于对硅片进行传输的传输组件，烘干机台上设有用于对硅片表面进行烘干的烘干箱，烘干箱内部设有用于对硅片表面水分进行吸附的吸水组件，烘干箱内部靠近吸水组件的位置设有用于对硅片进行烘干的烘干组件，传输组件能够对水洗后的硅片进行传输，硅片载板能够对硅片进行支撑，烘干箱能够对硅片进行烘干，吸水组件能够对硅片表面的水汽进行吸干，烘干组件能够对硅片表面同时进行烘干，旨在对硅片表面进行多次干燥，保证硅片的快速干燥，提高了硅片的干燥效率，节约了成本。