多晶硅还原炉尾气处理装置
授权
摘要

本实用新型公开了多晶硅还原炉尾气处理装置,涉及多晶硅加工技术领域。本实用新型包括:加热还原炉尾气进行催化反应的高温催化箱(1)和静电吸附回收二氧化硅的吸附箱(2);高温催化箱(1)包括加热还原炉尾气的加热棒(104),分散还原炉尾气的气流分散板(106)和用于催化反应的催化床(107);吸附箱(2)包括产生振动作用的电磁振动器(203),电晕极(201)的电势高于集电极(202)的电势。本实用新型有益技术效果:气流分散板的作用是将气流进行均匀分散,保证尾气与催化床上的催化剂充分接触并反应;对多晶硅还原炉尾气先进行高温催化生成二氧化硅,再利用静电吸附回收二氧化硅,妥善处理多晶硅还原炉尾气。

基本信息
专利标题 :
多晶硅还原炉尾气处理装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920938198.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-20
授权号 :
CN210125300U
授权日 :
2020-03-06
发明人 :
曾磊杨涛郜峰许红方张乃文
申请人 :
山东大海新能源发展有限公司
申请人地址 :
山东省东营市广饶县经济开发区綦公路以北,西康路以西
代理机构 :
北京中北知识产权代理有限公司
代理人 :
段秋玲
优先权 :
CN201920938198.6
主分类号 :
B01D53/86
IPC分类号 :
B01D53/86  B01D53/46  C01B33/18  B03C3/08  B03C3/76  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离;从气体中回收挥发性溶剂的蒸气;废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/34
废气的化学或生物净化
B01D53/74
净化废气的一般方法;为这类方法特别设计的设备或装置
B01D53/86
催化方法
法律状态
2020-03-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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