减少多晶硅还原炉尾气积硅的装置及多晶硅合成系统
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摘要

本实用新型公开了一种减少多晶硅还原炉尾气积硅的装置及多晶硅合成系统。所述减少多晶硅还原炉尾气积硅的装置包括吹扫机构和硅粉收集机构,所述吹扫机构包括设置于多晶硅还原炉的尾气管道中部和/或上部的氢气吹扫口,所述氢气吹扫口用于向尾气管道内输入低温氢气,所述硅粉收集机构设置于所述尾气管道下部,并且所述尾气管道中部还设有尾气排出口,所述尾气排出口处设有硅粉过滤机构,并且所述尾气排出口与尾气处理系统连通。本实用新型提供的减少多晶硅还原炉尾气积硅的装置,经由吹扫口向尾气管道内导入低温的氢气,在该低温氢气的驱使下,硅粉不会滞留在尾气管道内,而被导入硅粉收集机构。

基本信息
专利标题 :
减少多晶硅还原炉尾气积硅的装置及多晶硅合成系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922087654.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-28
授权号 :
CN211111076U
授权日 :
2020-07-28
发明人 :
蒲泽军杨明财鲍守珍郭光伟韩玲肖建忠
申请人 :
亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
申请人地址 :
青海省西宁市经济技术开发区金硅路1号
代理机构 :
南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
赵世发
优先权 :
CN201922087654.3
主分类号 :
C01B33/035
IPC分类号 :
C01B33/035  B01D46/10  B08B9/032  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/02
C01B33/021
制备
C01B33/027
使用除二氧化硅或含二氧化硅物料以外的气态或汽化的硅化合物的分解或还原
C01B33/035
在存在硅、碳或耐熔金属的热丝情况下,或在存在热硅棒情况下,用气态或汽化的硅化合物的分解或还原
法律状态
2020-07-28 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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