新型多晶硅还原炉

专利权的终止

摘要

新型多晶硅还原炉主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、电极冷却水进水管、电极冷却水出水管及其他附属部件组成，炉体主体采用不锈钢材质，以减少设备材质对产品的污染，混和气进气管分为数个喷口均匀的设置在底盘上，在还原炉底盘上分三个圆周均匀布置18对电极，最外一周布置9对电极，最内一周布置3对电极，中间一周布置6对电极，该种设计使还原炉内部结构布局合理，单台炉每批次产量较现有还原炉有大幅度的提升，多晶硅的综合生产成本和能耗也相应降低。

基本信息

专利标题：

新型多晶硅还原炉

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820006916.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-02-02

授权号：

CN201162065Y

授权日：

2008-12-10

发明人：

朱青松严钧王存惠

申请人：

江苏中能硅业科技发展有限公司

申请人地址：

221131江苏省徐州市徐州经济开发区310国道北侧

代理机构：

代理人：

优先权：

CN200820006916.8

主分类号：

C30B29/06

IPC分类号：

C30B29/06 C30B28/00 C01B33/03