本实用新型提供了一种多晶硅氢还原炉。包括壳体，炉支架，壳体上部设有封头，安装在炉支架上的底盘，底盘上设有电极和与电极一对应安装的硅芯棒，炉支架底盘下部安装有进、出气管，进、出气管分别与安装在底盘上表面的喷口和尾气出口连通，进气管上设有控制流量和压力的调节阀，电极和硅芯棒为各13对，即各26个，且在底盘上沿三个圆周均布，由内圆周向外圆周分别为第一圈5个、第二圈5个、第三圈16个；底盘的喷口为7个，其中1个喷口设置在底盘中心，其余6个喷口均布设置在第二和第三电极圈之间，尾气出口设置在底盘中心。本实用新型可有效提高多晶硅的产量，同时节能降耗。