本实用新型提供了一种多晶硅氢还原炉，包括带有冷却装置的炉壁，炉壁上安装有视镜，炉壁安装在底盘上；底盘上布有进、出气装置，底盘设有加热电极，电极上一一对应安装有硅芯棒，硅芯棒和电极为各18对，即各36个，且在底盘上沿三个同心圆周均布设置，从内圆周向外圆周分别设置为3对、5对、10对；内圆周的3对硅芯棒为低电阻率硅芯棒，其余两圆周上为常规电阻率硅芯棒；底盘上设有喷口，喷口为四组，每组喷口为多个，其中两组喷口形成的圆为同心圆，且均布在底盘每两个硅芯棒圈之间的圆周上，另外两组设置在内圈硅芯棒圆周之内。本实用新型不仅可以实现大直径、多对棒生产，提高了多晶硅产量，有效节约了生产成本。