本实用新型涉及一种硅片烘干装置，它包括：槽体；风箱，所述风箱设置在所述槽体相对两侧，所述风箱上部侧面开设有多个横条形的出风开口，所述出风开口与所述槽体内腔相连通；加热机构，所述加热机构设置在所述风箱内；致风腔，所述致风腔设置在所述槽体底部，所述致风腔出口与所述风箱下部相连通，所述致风腔的进口与所述槽体内腔相连通；扇叶，所述扇叶设置在所述致风腔中，所述扇叶由驱动件驱动而旋转。气流在致风腔、风箱、槽体内腔间循环流动，对硅片进行持续烘干，具有较高的烘干效率。风箱上的横条形出风开口使得气流以扁平状吹向硅片，气流更易进入硅片间的间隙，从而促进对硅片之间的水分进行烘干。