本实用新型公开一种刻蚀清洗机硅片烘干装置，涉及光伏自动化设备领域。该刻蚀清洗机硅片烘干装置，过滤箱，所述过滤箱前端设有风机主体；连接板，所述连接板顶部设有风刀盒，所述风刀盒内腔固定连接有上风刀，所述上风刀底部开设有上出风口，所述上风刀顶部固定连接有第一风管。该刻蚀清洗机硅片烘干装置，热风从第一风管和第二风管进入上风刀和上出风口内，通过上出风口下出风口斜口吹向从上滚筒和下滚筒经过的硅片主体，当硅片主体经过时，硅片主体上的水在热风的作用下向硅片主体移动的反方向移动，达到硅片主体被吹干的效果。