一种硅片清洗机快速烘干冷却装置
授权
摘要
本实用新型涉及烘干领域。一种硅片快速烘干冷却装置,清洗花篮通过第一传送带(1)进入该快速烘干冷却装置(8),清洗花篮经过烘干冷却装置(8)后进入下料台(9),该快速烘干冷却装置为一个长方体中空通道,其底部有两条衔接的第二传送带(6)和第三传送带构成(10)构成,该快速烘干冷却装置顶部、前部、后部为密封钢板,该快速烘干冷却装置出口侧敞口。本实用新型能够对清洗后的硅片快速烘干和冷却。
基本信息
专利标题 :
一种硅片清洗机快速烘干冷却装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920416990.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-03-29
授权号 :
CN209910334U
授权日 :
2020-01-07
发明人 :
郭岂宏李波刘宝华任欢欢梁玲杨雪任崇荣
申请人 :
山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请人地址 :
山西省长治市郊区漳泽新型工业园区
代理机构 :
太原市科瑞达专利代理有限公司
代理人 :
李富元
优先权 :
CN201920416990.5
主分类号 :
F26B15/18
IPC分类号 :
F26B15/18 F26B23/00 F26B25/02 F25D31/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B15/00
对具有渐进运动的制品进行干燥的机器或设备;对密集批料进行干燥的具有渐进运动的机器或设备
F26B15/10
以一条或多条直线形成的路线移动的,例如复合路线
F26B15/12
路线均为水平或略有倾斜的
F26B15/18
用环形带运送制品或批料的
法律状态
2020-01-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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