一种硅片清洗沥干装置及清洗烘干装置

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗沥干装置及清洗烘干装置，包括花篮工装、沥干支架、提升机构和烘干支架；沥干支架具有沥干倾斜面，烘干支架具有烘干倾斜面；烘干支架设置在烘干槽的底部，沥干支架设置在清洗槽中，且能相对清洗槽进行升降；花篮工装底部能倾斜放置在沥干倾斜面或烘干倾斜面上，花篮工装用于设置硅片。通过搬运时和搬运后形态的改变，使水残留在硅片间移动，破坏水体张力，减少水分残留。本申请能使清洗的硅片，在烘干前，快速进行沥水，沥除多余残水，节省烘干时间，在保证烘干质量的前提下，提高产能。同时，在烘干前，硅片底部无水体残留，从而进一步节省烘干时间，提升烘干效果。

基本信息

专利标题：

一种硅片清洗沥干装置及清洗烘干装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921171074.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-24

授权号：

CN210167332U

授权日：

2020-03-20

发明人：

孙辰姚凯同袁黎平张鑫

申请人：

无锡隆基硅材料有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区锡梅路102号

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司

代理人：

石艳红

优先权：

CN201921171074.6

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/673 H01L21/677 H01L21/02