本实用新型公开了硅片清洗领域内的一种金刚线切割硅片清洗的烘干装置，包括从前到后依次排列设置的第一鼓泡漂洗槽、第二药剂漂洗槽、第三药剂漂洗槽、第四药剂漂洗槽、第五超声漂洗槽、第六溢流漂洗槽、第七溢流漂洗槽和第八溢流漂洗槽，烘干槽包括水平底板，烘干空腔内靠近左侧板、右侧板处均设置有加热组件，所述前侧板和后侧板上均开设有若干侧风孔，烘干槽的前侧和后侧均设置有风箱，侧鼓风机的风口对应侧风孔设置，所述底板上也开设有若干下风孔，位于底板下方设置有若干下鼓风机，下鼓风机的风口对应下风孔设置；底板上设置有至少1组支撑组件，支撑组件上定位放置有由机械臂控制移动的硅片托架。本实用新型能够快速对硅片进行烘干。