硅片烘干槽
授权
摘要
本实用新型提出了一种硅片烘干槽，其包括槽体、硅片盒，硅片盒的下部设有匀流板，槽体的下部为通风口，硅片盒与匀流板之间还设有第一加热器，第一加热器靠近硅片盒底部，通风口与鼓风机连通，鼓风机与通风口之间设有第二加热器，鼓风机与通风口之间还设有过滤器，槽体包括储气腔，槽体可为封闭设计，热风经硅片盒后流入到抽风管，抽风管与所述鼓风机连通，抽风管通过缓冲腔与鼓风机连通，抽风管与鼓风机之间还设有除湿装置。与现有技术相比，本实用新型保证了热气能够均匀地从硅片盒的底部流经硅片盒，对硅片盒进行均匀、全面的烘干，大大降低了烘干时间，提升了产能。
基本信息
专利标题 ：
硅片烘干槽
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922015222.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-20
授权号 ：
CN210952133U
授权日 ：
2020-07-07
发明人 ：
左国军陈雷任金枝李雄朋成旭申斌谈丽文邱瑞
申请人 ：
常州捷佳创精密机械有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
代理机构 ：
深圳市康弘知识产权代理有限公司
代理人 ：
万景旺
优先权 ：
CN201922015222.1
主分类号 ：
F26B9/10
IPC分类号 ：
F26B9/10 F26B21/14 F26B25/10
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B9/00
静态下或只是局部摇动干燥固体材料或制品的机器或设备；家用晾晒柜
F26B9/10
在露天中；在室内盘状容器或台架中；干燥松散材料堆
法律状态
2020-07-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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