本实用新型公开了一种高效硅片烘干装置，属于烘干设备技术领域，包括底座、烘干箱、热风机、夹持组件、转动组件、驱动组件和封闭件，所述烘干箱设置在底座的顶端，所述热风机设有若干个，若干个所述热风机呈两两对称安装在烘干箱的两侧，所述转动组件设有多个，多个转动组件分别设置在烘干箱内，所述夹持组件设有若干个，若干个夹持组件的数量与转动组件的数量相同，且每个夹持组件分别设置在每个转动组件上，所述驱动组件设置在底座内部，且驱动组件与每个转动组件连接，所述封闭件安装在烘干箱的顶端，本实用新型对硅片烘干时，硅片会转动，使硅片的每个面都能够快速地接触到热风，从而能够更加快速地对硅片进行烘干，且烘干得更加全面。