本实用新型公开了一种硅片烘干槽，包括箱体，箱体内设有容纳硅片的放置槽，放置槽的底部设有漏水孔和凸起结构，放置槽的两端设有滑杆，滑杆上滑动设有卡接块，卡接块的两端设有凹槽，放置槽的一端设有压紧板，压紧板上设有拧紧螺栓，箱体的上端设有风机，风机的一端设有通风管，通风管上设有出风口，箱体的上端设有回风管，回风管上设有泵机。本实用新型与现有技术相比的优点在于：相邻卡接块上的凹槽进行配合，对硅片的两面进行夹紧，滑动设置的卡接块，在压紧板的作用下，相互抵持，对不同厚度的硅片进行夹紧固定，固定效果好；硅片上的水沿着漏水孔下落，通过两端通风管上的通风口进行烘干，红外线灯进行照射烘烤。