一种硅片烘干炉的硅片传送装置
授权
摘要
本实用新型涉及硅片技术领域，且公开了一种硅片烘干炉的硅片传送装置，包括箱体，所述箱体的内部固定连接有支柱，所述支柱的内部固定连接有转轴，所述转轴的外壁固定连接有转盘，所述转盘的外壁活动连接有第一传送带，所述第一传送带的外壁固定连接有固定块，所述固定块的内部开设有固定槽，所述电动推杆的右侧固定连接有固定杆，所述固定杆的右侧固定连接有支架，所述支架的内部固定连接有进料管，所述进料管的左侧活动连接有活动管，所述箱体的内部固定连接有支撑柱，所述支撑柱的外壁活动连接有第二传送带。该硅片烘干炉的硅片传送装置，具备硅片烘干单次上料完成所有面的烘干，方便上料，方便传送，方便下料等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片烘干炉的硅片传送装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021087276.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-13
授权号 ：
CN212512328U
授权日 ：
2021-02-09
发明人 ：
江水德
申请人 ：
衢州三盛电子有限公司
申请人地址 ：
浙江省衢州市开化县华埠镇银辉路9号
代理机构 ：
北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张铁兰
优先权 ：
CN202021087276.5
主分类号 ：
F26B15/08
IPC分类号 ：
F26B15/08 F26B25/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B15/00
对具有渐进运动的制品进行干燥的机器或设备；对密集批料进行干燥的具有渐进运动的机器或设备
F26B15/02
以整个或部分循环运动的
F26B15/08
以垂直面
法律状态
2021-02-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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