一种满足大尺寸硅片的烘干炉
授权
摘要
本实用新型涉及烘干炉技术领域,且公开了一种满足大尺寸硅片的烘干炉,包括炉体,所述炉体的左右两侧均开设有第一开口,第一开口的内部设置有网带输送机,炉体的正面开设有第二开口,第二开口的内壁滑动连接有第一支撑板,第一支撑板的正面固定连接有密封板,密封板的背面和炉体的左右两侧均固定连接有液压推杆,第一支撑板的背面固定连接有第二支撑板,第一支撑板的上表面、密封板的背面和第二支撑板的正面均固定连接有第一挡板。本实用新型通过设置第一挡板和第二挡板,将炉体分为两个烘干区和一个冷却区,进而通过三个工作区的独立控制,便于使用者控制炉体内的气场,提高该烘干炉对硅片的烘干效果。
基本信息
专利标题 :
一种满足大尺寸硅片的烘干炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021397697.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-15
授权号 :
CN212778479U
授权日 :
2021-03-23
发明人 :
仇慧生朱德成芮瞻飞
申请人 :
环晟光伏(江苏)有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市宜兴市经济开发区文庄路20号
代理机构 :
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
栾志超
优先权 :
CN202021397697.8
主分类号 :
F26B15/18
IPC分类号 :
F26B15/18 F26B21/00 F26B21/06 F26B25/02
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B15/00
对具有渐进运动的制品进行干燥的机器或设备;对密集批料进行干燥的具有渐进运动的机器或设备
F26B15/10
以一条或多条直线形成的路线移动的,例如复合路线
F26B15/12
路线均为水平或略有倾斜的
F26B15/18
用环形带运送制品或批料的
法律状态
2021-03-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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