一种满足大尺寸硅片的烧结炉
授权
摘要
本实用新型涉及烧结炉技术领域,且公开了一种满足大尺寸硅片的烧结炉,包括炉体,所述炉体的左右两侧均开设有开口,所述开口的内部设置有网带输送机,所述炉体内壁的前后两侧均固定连接有红外加热灯管,所述红外加热灯管位于网带输送机的上下两侧,所述炉体的底部固定连接有支撑柱,所述炉体的底部开设有气孔,所述气孔的内壁固定连通有进气管,所述进气管的表面固定连通有导气板,所述导气板的上表面开设有导气槽。本实用新型通过设置两个进气管,使炉体内的气场可根据需要进行调节,进而该烧结炉对较大硅片的烧结效果,同时,在导气板、导气槽、密封机构和分流板的配合下,使进气管内的气体均匀的吹在网带输送机上。
基本信息
专利标题 :
一种满足大尺寸硅片的烧结炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021395815.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-15
授权号 :
CN212778587U
授权日 :
2021-03-23
发明人 :
仇慧生朱德成芮瞻飞
申请人 :
环晟光伏(江苏)有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市经济开发区文庄路20号
代理机构 :
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
栾志超
优先权 :
CN202021395815.1
主分类号 :
F27B9/04
IPC分类号 :
F27B9/04 F27B9/10 F27B9/24 F27B9/30 F27B9/36
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B9/00
在其内机械移动炉料的炉,例如隧道式的
F27B9/04
适用于在真空或特定气氛中处理炉料的
法律状态
2021-03-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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