本实用新型公开了一种大尺寸ITO靶材烧结炉，包括机架和设置在机架上方的主箱体，烧结炉还包括平台升降系统、进气系统、排气系统和温度控制系统，所述主箱体内设有炉膛，所述炉膛包括炉体、上炉盖和下炉门，所述平台升降系统与下炉门连接，所述下炉门上设有物料车，所述炉膛内设有加热组件，所述加热组件形成多个不同的温区，所述加热组件和温度控制系统连接，所述进气系统和排气系统与主箱体连接，所述进气系统包括设置在炉膛四周侧边靠下位置的多个进气口。本实用新型提供的一种大尺寸ITO靶材烧结炉，能够提供一种氧气氛围均匀分布、高精度控温的ITO靶材烧结炉，有效确保了大尺寸、高密度、高性能ITO靶材的烧结环境。