一种带有集成控制系统的靶材烧结炉
授权
摘要
本实用新型公开了一种带有集成控制系统的靶材烧结炉，集成控制系统设置三相电源输入端，三相电源输入端并联有电源控制电路、升降驱动电路、炉温控制电路和炉压控制电路，电源控制电路设置有电源启动模块、人机输入界面、PLC控制单元，升降驱动电路设置有一变频支路，PLC控制单元通过信号输出端口导通或切断变频支路的，变频支路的输出端电连接升降驱动电机；炉压控制电路设置有一固态继电器，固态继电器的输入控制端电连接PLC控制单元的信号输出端口，固态继电器的受控输出端电连接排气阀，炉温控制电路电连接发热元件。本实用新型能够根据靶材生产工艺需求调控工作台的工作速度，且能稳定地控制烧结炉的炉压。
基本信息
专利标题 ：
一种带有集成控制系统的靶材烧结炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920802416.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-30
授权号 ：
CN210220727U
授权日 ：
2020-03-31
发明人 ：
李兵
申请人 ：
东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
林晓宏
优先权 ：
CN201920802416.3
主分类号 ：
F27D19/00
IPC分类号 ：
F27D19/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F27
炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D19/00
控制装置的配置
法律状态
2020-03-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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